石英管的清洗方法

作为石英管生产厂家，今天小编就带大家了解一下石英管的清洗方法。

石英管清洗：

1.将管口和尾管用专用铝箔密封

2.清洗好后将石英管放到净化间的指定位置，下面垫上专用的泡沫。

3.水槽结束后，将水槽内的水排空。然后，参照上面第5步的方法用水枪冲刷石英管内/外壁。重点冲刷内壁。约5min后用水枪冲刷管尾的四个小通气管，重点同样是管内壁。冲刷2分钟后再继承从管口方向冲刷。此步清洗时间应不少于15min，以管内外壁无颗粒状磷化物残留为清洗干净的标志。

4.重复第6步，再清洗一遍。

5.将纯水注入水槽，水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门，然后将水槽清洗时间设定为30min，按下"水槽启动"按钮。

6.清洗职员戴好防护眼镜和手套，将石英管从酸槽掏出，轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲刷石英管内外壁约5分钟。冲刷石英管内壁时不要按下"水槽启动"按钮，假如已经按下了应再按下"水槽结束"按钮。然后把水枪拉到石英管管口，从管口向管尾方向冲刷管内壁。冲刷时应仔细当真，不要有残留未冲到的区域。2分钟后，将石英管旋转180°，再用同样方式冲刷2分钟。

新的石英管只需清洗30min左右。假如是用过的石英管，应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷全部脱落的时间为准。清洗用过的管子，有的要1到2天时间。在酸槽未启动的情况下，应每隔2个小时将石英管旋转180°。

7.酸槽清洗时间的设定：

8.清洗职员需佩戴好防护眼镜和防酸手套，然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内，管口朝向制绒间，管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门，将酸槽清洗时间设定为30min，按下控制面板中"酸槽启动"按钮。

9.清洗槽内假如存有以前用过的氢氟酸溶液，溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸（由出产职员调配）；假如原有的氢氟酸溶液很脏，则应全部排空并洗净槽体，然后通知出产职员配液；假如槽内无以往剩下的氢氟酸溶液，洗净槽体后请出产职员配液。

10.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全尺度进行。

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